简称“vlsi电路”。指几毫米见方的硅片上集成上万至百万晶体管、线宽在1微米以下的集成电路。由于晶体管与连线一次完成，故制作几个至上百万晶体管的工时和费用是等同的。大量生产时，硬件费用几乎可不计，而取决于设计费用。国际上硅片面积已增至厘米见方，管数达十亿个而线宽为0?1微米。

“超大规模集成电路”造句

1.随着超大规模集成电路的不断发展，薄栅氧化层的质量对器件和电路的可靠性的作用越来越重要。

2.介绍了美、欧、日、韩今后发展超大规模集成电路的对策.

3.随着超大规模集成电路的不断发展，薄栅氧化层的质量对器件和电路可靠性的作用越来越重要。

4.研究结果表明：这种器件可以作为在室温下工作的性能优异的非易失性存储器单元，有望在将来的超大规模集成电路中获得应用。

5.本文提出一种高性能超大规模集成电路无网格布线算法.

6.日、韩今后发展超大规模集成电路的对策.